中证报中证网讯(记者程雪儿)在近日举行的珂玛科技2025年度股东大会上,公司董事长兼总经理刘先兵与股东及机构投资者进行了近1小时的交流,介绍了静电卡盘、陶瓷加热器等核心业务的进展及公司战略。
据珂玛科技2025年年报,公司主营业务为先进陶瓷材料零部件的研发、制造、销售、服务以及泛半导体设备表面处理服务。公司目前拥有由氧化铝、氧化锆、氮化硅、碳化硅、氧化钇和氧化钛六大类材料组成的先进陶瓷基础材料体系,主要类型材料的耐腐蚀、电绝缘、高导热、强机械性能等已达到国际主流客户的严格标准。公司累计设计开发了一万余款定制化零部件,是国内半导体设备用先进陶瓷材料零部件的头部企业。
静电卡盘量产在即
“静电卡盘的技术研发和量产流程都已经基本走通了。”刘先兵开门见山表示。
他解释,静电卡盘与全陶瓷结构的陶瓷加热器不同,由陶瓷盘粘贴在铝合金金属基座上制成,出货受外购金属基座供应情况及稳定性的影响。目前2025年静电卡盘产品已有数百万元金额的交货,公司二期扩建正是以静电卡盘为核心,预计今年订单可达千万元级别。
静电卡盘和陶瓷加热器兼具“设备零部件”与“耗材”双重属性。在设备生命周期内,由于高温、高压、等离子体轰击等恶劣环境,产品需要定期更换。“产品生命周期短则几个月,长则两三年。客户产能利用率越高、制程功率越大,更换频率就越高。”他举例,当工作温度从400多度提高到650度,产品寿命会进一步缩短,带来持续的重复销售需求。仅陶瓷加热器一个品类,预计到2030年国内头部客户的年需求即可达万片以上。随着国内薄膜、刻蚀设备大量生产,国产半导体设备的覆盖率不断提高,静电卡盘和陶瓷加热器产品的整体市场空间十分可观。
产品竞争力:局部性能已反超海外
与国际头部零部件厂家的陶瓷加热器产品相比,珂玛的产品在量产经验积累上仍有差距,例如在产品寿命、故障率方面。“但在性能上已经能够满足客户的使用要求,保障客户芯片的正常生产。”刘先兵说。
更关键的是,在某些大尺寸产品上,珂玛产品某些性能,比如薄膜沉积速率,比海外对标产品表现更好,实现了局部反超。
他特别表示,在这个行业,客户更换供应商的代价极大,重新验证的成本很高。“一片晶圆走下来价值上万美金,客户承受不了更换供应商的风险和验证成本,哪怕采购报价降低一些也不会轻易更换。”他说,产品的高度定制化叠加客户低替换意愿,再加上当前珂玛的产品良率、产能利用率和生产效率仍有提升空间,使公司毛利率能相对稳定。
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