资金流向数据显示，半导体设备ETF招商(561980)今日净赎回700万份，已连续6个交易日出现净赎回。从申赎口径看，该ETF近5个交易日累计净赎回1.27亿份，显示资金持续撤离半导体设备赛道。
行情方面，半导体设备ETF招商(561980)今日报收-3.673%，成交额3.06亿元，换手率8.12%。该ETF近5个交易日累计下跌2.14%，近5日均成交3.96亿元，目前规模约37.67亿元。
持仓股中，前十大权重股今日多数下跌。据2026年一季报，第一大权重股中微公司(688012)权重15.80%，今日下跌4.63%；第二大权重股北方华创(002371)权重13.79%，今日下跌3.77%；第三大权重股拓荆科技(688072)权重7.35%，今日下跌6.54%。权重股中仅南大光电(300346)逆势上涨，今日涨幅8.44%。
同赛道产品方面，半导体ETF博时(159582)今日亦下跌3.8%，成交额7643万元，近5日累计下跌2.01%。该ETF同样遭遇份额赎回，上一交易日净赎回750万份，同样呈现连续6个交易日净赎回态势，近5个交易日累计净赎回2400万份。
产品费率方面，半导体设备ETF招商(561980)综合费率0.60%/年，为同指数2只ETF中费率最低一档。近1月跟踪误差0.035%，同指数排名第1/2；近1年超基准年化-0.08%，同指数排名第1/2。当前规模37.67亿元，为同指数2只ETF中规模排名第1。
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